Сверхкритические флюиды. Теория и практика
      Главная    Авторам    Редколлегия    Статьи on-line   Подписка   Контакты

 СКФ-ТП

  Интернет-версия

2017, №2, сс. 68-80

М.Ю. Цветков, Н.В. Минаев, А.А. Акованцева, Г.И. Пудовкина, П.С. Тимашев, С.И. Цыпина, В.И. Юсупов, А.Э. Муслимов, А.В. Буташин, В.М. Каневский, В.Н. Баграташвили

Травление сапфира в сверхкритической воде при ультравысоких температурах и давлениях в условиях импульсной лазерной термоплазмоники

Для эффективного и хорошо контролируемого микроструктурирования сапфира использован метод термоплазмонного лазерного жидкостного травления (ТПЛЖТ). Метод основан на генерации в процессе импульсно-периодического лазерного облучения сильнопоглощающих плазмонных наночастиц серебра, образующихся в результате восстановления растворенного в воде прекурсора — нитрата серебра. Процесс травления сапфира осуществляется в результате возникновения сверхкритической воды при ультравысоких температурах и давлениях (существенно превышающих критические значения для воды), и образования наночастиц серебра на границе раздела сапфир/вода в результате поглощения лазерного излучения. Рассмотрен механизм ТПЛЖТ, определена интенсивность травления, достигающая ∼100 нм/импульс. Обнаружено формирование наночастиц алюминия, свидетельствующее о глубокой деструкции Al2O3 в результате ТПЛЖТ.

Ключевые слова: сапфир, лазерное жидкостное травление, микроструктурирование, термоплазмоника, сверхкритическая вода, ультравысокие давления и температуры

RIS

Abstract


   © 2006-2007 ЗАО "ШАГ"