Травление сапфира в сверхкритической воде при ультравысоких температурах и давлениях в условиях импульсной лазерной термоплазмоники Статьи журнала «Сверхкритические Флюиды: Теория и Практика»

2017, №2

сс. 68-80

М.Ю. Цветков, Н.В. Минаев, А.А. Акованцева, Г.И. Пудовкина, П.С. Тимашев, С.И. Цыпина, В.И. Юсупов, А.Э. Муслимов, А.В. Буташин, В.М. Каневский, В.Н. Баграташвили

Ключевые слова: сапфир, лазерное жидкостное травление, микроструктурирование, термоплазмоника, сверхкритическая вода, ультравысокие давления и температуры

Для эффективного и хорошо контролируемого микроструктурирования сапфира использован метод термоплазмонного лазерного жидкостного травления (ТПЛЖТ). Метод основан на генерации в процессе импульсно-периодического лазерного облучения сильнопоглощающих плазмонных наночастиц серебра, образующихся в результате восстановления растворенного в воде прекурсора — нитрата серебра. Процесс травления сапфира осуществляется в результате возникновения сверхкритической воды при ультравысоких температурах и давлениях (существенно превышающих критические значения для воды), и образования наночастиц серебра на границе раздела сапфир/вода в результате поглощения лазерного излучения. Рассмотрен механизм ТПЛЖТ, определена интенсивность травления, достигающая ∼100 нм/импульс. Обнаружено формирование наночастиц алюминия, свидетельствующее о глубокой деструкции Al₂O₃ в результате ТПЛЖТ.

Полный текст статьи

Предыдущая статья Следующая статья

Цитировать

ГОСТ
7.0.100-2018

Цветков, М.Ю. Травление сапфира в сверхкритической воде при ультравысоких температурах и давлениях в условиях импульсной лазерной термоплазмоники / М.Ю. Цветков, Н.В. Минаев, А.А. Акованцева [и др.]. – Текст : непосредственный // Сверхкритические Флюиды: Теория и Практика.. – 2017. – Т. 12. – № 2. – С. 68-80.

TRANSLIT

Tsvetkov, M.Iu. Travlenie sapfira v sverhkriticheskoj vode pri ul'travysokih temperaturah i davleniyah v usloviyah impul'snoj lazernoj termoplazmoniki / M.Iu. Tsvetkov, N.V. Minaev, A.A. Akovanceva [i dr.]. – Sverhkriticheskie Flyuidy: Teoriya i Praktika.. – 2017. – Т. 12. – № 2. – S. 68-80.

M.Yu. Tsvetkov, N.V. Minaev, A.A. Akovantseva, G.I. Pudovkina, P.S. Timashev, S.I. Tsypina, V.I. Yusupov, A.E. Muslimov, A.V. Butashin, V.M. Kanevsky, V.N. Bagratashvili Etching of Sapphire in Supercritical Water at Ultrahigh Temperatures and Pressures under the Conditions of Pulsed Laser Thermoplasmonics. Sverhkriticheskie Flyuidy: Teoriya i Praktika, 2, 68-80 (2017). https://doi.org/

Травление сапфира в сверхкритической воде при ультравысоких температурах и давлениях в условиях импульсной лазерной термоплазмоники

Цитировать

Спасибо. Ваши данные отправлены