Ключевые слова: атомно-силовая микроскопия, кантилеверы, очистка поверхности, сверхкритический диоксид углерода
Предложен метод щадящей очистки зондов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) в среде сверхкритического диоксида углерода (СК-СО2). Показано, что СК-СО2, не нарушая структуру зонда, удаляет искусственное органическое загрязнение (полиэтилметакрилат), и характеристики зонда становятся сравнимыми с исходными. Методами спектроскопии комбинационного рассеяния (КР) и сканирующей электронной микроскопии показано, что в результате обработки в среде СК-СО2 поверхность зонда полностью очищается; в спектрах КР исчезают полосы, относящиеся к исходному загрязнению. Изображения калибровочных решеток для АСМ, полученные с использованием очищенных в СК-СО2 зондов, более четкие, границы объектов не размыты и снижается количество «артефактных» полос по сравнению с аналогичными изображениями, полученными исходными неиспользованными зондами.